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Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
Il regolatore di flusso massico FMM501 viene utilizzato per la misurazione e il controllo precisi del flusso massico di gas. Svolgono un ruolo importante nella ricerca e nella produzione scientifica nei settori dell'industria dei semiconduttori e dei circuiti integrati, dei materiali speciali, dell'industria chimica, dell'industria, della medicina; protezione ambientale e lampade per vuoto. Le applicazioni tipiche includono: Apparecchiature di processo elettronico, quali diffusione, epitassia, CVD, ossidazione, incisione al plasma, sputtering, impianto ionico; e attrezzatura di rivestimento, fusione di fibre ottiche, Dispositivo di micro-reazione, sistema di distribuzione di gas misti, gascromatografo per misurazioni capillari e altri strumenti analitici.
| Indicatori tecnici | MFC | MFM |
| Intervallo | 2SCCM-300SLM | |
| Precisione | ±1% F.S. | |
| Temperatura ±1ºC | ||
| Lineare | ±0.5% F.SºC | |
| Ripetibilità | 0.2% F.SºC | |
| Tempo di risposta | <2 s. | <1s |
| Analogico | 0-5 v/4-20 ma | |
| Comunicazione | RTU Modbus RS485 | |
| Alimentazione | ±15 V/24 V. | |
| Temp. Di esercizio | 0-50ºC | |
| Pressione differenziale | DP: 0.05-1,0 MPa | Premere il tasto di abbassamento: <30 kPa |
| Pressione massima | 3 MPa/10 MPa | |
| Collegamento elettrico | DB15 | |
| Velocità di perdita | 1×10-8 SCCSHe | |
| Temp. C.F | ±0.015% F.S/ºC | |
| Materiale di base | 316 SST | |
| Tenuta | PTFE/CR/NBR | |
| Montaggio | 1/4" 3/8" 6mm 10mm | |
SENTEC si concentra sulle soluzioni per la tecnologia di rilevamento.
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